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为什么罗茨真空泵配合前级泵?原因在这里

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为什么罗茨真空泵配合前级泵?原因在这里

罗茨真空泵一般分成两大类,一类为干式罗茨泵,一类为湿式罗茨泵。湿式罗茨泵不配前级泵,而干式罗茨泵则需要配前级泵组成机组。所以,在谈到运行时,必然要联系到罗茨泵机组。


组成罗茨泵机组,罗茨泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。如前所述,罗茨泵的压缩比很有限。当入口压强在100Torr一直到大气压时,压缩比为2.15;当入口压强为10的负一次方Torr,压缩比可达40。

在考虑机组组成时,首先要考虑罗茨泵入口压强范围,假设是10Torr,可知最大容许压缩比为8。这一压缩比决定若前级泵的容量,因压缩比是两者抽速的反比。一般压缩比在2?10内选取。


另外,应当考虑对预抽时间的要求。真空设备是作为辅助设备应用于各种机械设备中的,如果正常工作时间远比预抽时间长,可选较小的前级泵(压缩比可大些)•假若真空室较大,而且要求很快预抽,就用较大的前级泵。有时为了更好地发挥设备的效率,机组前装有一台较大的预抽泵,工作正常后再关掉它。h d F J 1 1 . C OM


为了提高真空度,有时把两个罗茨泵串联使用,选二者的抽速比为2?5。如果压缩比选大了,前级泵就很小,不利于系统的预抽,而且当第一级罗茨泵反压强提高时,容易造成第二级罗茨泵超负荷。


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